»ç¾÷¼Ò°³
_»ç¾÷¼Ò°³_¼ÒÀç»ç¾÷ºÎ
¼ÒÀç»ç¾÷ºÎ
ÃÖ°íÀÇ Ç°Áú·Î ¼ö¿äÀÚ ¿©·¯ºÐ²² º¸´äÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
CHEMICAL APPLICATION
- ¹Ú¸· ÁõÂø¿ë Precursor ´Â MOCVD, ALD °øÁ¤¿¡
»ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö ÈÇÐÁ¦Ç°
- ¹ÝµµÃ¼¿ë : TEOS, TEB, TEPO µîÀÇ ´ë·® »ý»êÇÏ´Â Á¦Ç°°ú
ZrO2, TiN, Al2O3 µî
MemoryÀÇ ÇÙ½É ºÎºÐÀ» ÀÌ·ç´Â Á¦Ç°
- LED¿ë : TMG, TEG, TMI, TEI, TMA µî III-V Á· ÈÇÕ¹°
¹ÝµµÃ¼ ÁõÂøÀ» À§ÇÑ Á¦Ç°