home_»ç¾÷¼Ò°³_»ç¾÷¼Ò°³ºÎºÐ

»ç¾÷¼Ò°³ºÎºÐ

ÃÖ°íÀÇ Ç°Áú·Î ¼ö¿äÀÚ ¿©·¯ºÐ²² º¸´äÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

(ÁÖ)¸ÞÄ«·Î´Â Áö³­ 15³â°£ ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°¿¡ ´ëÇÏ¿© Áö¼ÓÀûÀÎ ±â¼ú°³¹ß°ú
¿¬±¸ÀÇ ³ë·ÂÀ¸·Î °í°´¿¡ ÃÖÀûÈ­µÈ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿ë ºÎÇ°À» »ý»êÇÏ¿©
spare parts ºÐ¾ß¿¡¼­ ±× ±â¼ú·ÂÀ» ´ç´çÈ÷ ÀÎÁ¤¹Þ´Â ÃÊÀÏ·ù Heater
Block ¹× Chemical Precursor Àü¹® Á¦Á¶ ±â¾÷ ÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ¿ä »ý»ê
Á¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼¿ë Process Heater Block°ú LCD ¿ë Susceptor,
Ground strap ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç MOCVD,ALD °øÁ¤¿ë ¹Ú¸· ÁõÂø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â
Chemical Precursor ¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Ÿ»ç¿Í Â÷º°È­µÈ ÃàÀûµÈ
÷´Ü ±â¼ú°ú Know-how¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê¶óÀο¡ ¿ì¼öÇÑ
Ç°ÁúÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç °í°´¿¡°Ô ÃÖ°íÀÇ °¡Ä¡¸¦ Á¦°øÇϱâ
À§ÇÏ¿© ºÒ·®·ü Zero ¿¡ µµÀüÇÏ´Â °æ¿µ öÇÐÀ¸·Î ¸ðµç ÀÓÁ÷¿øÀÌ ÃÖ¼±À»
´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ÇÑÃþ ´õ ¼º¼÷ÇÑ ±â¾÷À¸·Î ¹ßµ¸¿ò Çϱâ À§ÇØ
²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼ú°³¹ß°ú ÀÎÀçÀ°¼º, °æ¿µÇõ½ÅÀ» ÀÌ·ç°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
  • Process Heater ±â¼ú : °øÁ¤ è¹ö³» È÷ÅÍÀÇ ³ëÇÏ¿ì
  • Source ±â¼ú : Precursor ÇÕ¼º ¹× Á¤Á¦ / ºÐ¼® ±â¼ú
  • Device ±â¼ú : ¿ä±¸µÇ´Â ´ÜÀ§°øÁ¤ ¹Ú¸· ¼³°è ±â¼ú
  • Hardware ±â¼ú : Precursor ÁõÂø¿ë Àåºñ ¼³°è ¹× Á¦ÀÛ

°øÁ¤¿ë Process Heater Block°ú °øÁ¤¿ë PrecursorÀÇ
°ø±ÞÀ¸·Î Ÿ»ç¿Í Â÷º°È­µÈ °í±Þ ¼­ºñ½º Á¦°ø