°æ¿µÀ̳ä

±àÁ¤ÀûÀÌ°í âÀÇÀûÀÎ »ý°¢À» ±âº»À¸·Î ¸ðµç ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿­Á¤À» ´ÙÇÏ¸ç ²÷ÀÓ ¾øÀÌ Çõ½ÅÇØ °¡´Â °ÍÀÌ ¿ì¸®ÀÇ ÇÙ½É °¡Ä¡ÀÔ´Ï´Ù. ¸ÞÄ«·Î´Â µ¶Ã¢ÀûÀÎ ±â¼ú°ú È¥À» ´ãÀº Á¦Ç°À¸·Î »îÀÇ ÁúÀ» Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ¸ç ¹ßÀüÇØ ³ª¾Æ°¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

ºÎÇ°ºÐ¾ß

¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ WAFER³ª LCD°øÁ¤ÀÇ GLASS¸¦ ¿øÇÏ´Â ¿Âµµ·Î ±ÕÀÏÇÏ°Ô HEATINGÇÏ°í °øÁ¤Á¶°ÇÀ» À§ÇÑ PURGE GAS SYSTEM°ú WAFER¸¦ CHUCKINGÇϱâ À§ÇÑ SYSTEMÀÌ
Á¦°øµÇ¾î ÃÖ»óÀÇ °øÁ¤Á¶°ÇÀ» À¯ÁöÇÏ´Â Á¦Ç° ÀÔ´Ï´Ù.