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¹Ú¸· ÁõÂø¿ë Precursor ´Â MOCVD, ALD °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â
Ư¼ö È­ÇÐÁ¦Ç° / ¹ÝµµÃ¼¿ë : TEOS, TEB, TEPO µîÀÇ ´ë·®
»ý»êÇÏ´Â Á¦Ç°°ú ZrO2, TiN, Al2O3 µî