º¸À¯±â¼ú
_º¸À¯±â¼ú_¼ÒÀç»ç¾÷º»ºÎ
¼ÒÀç»ç¾÷º»ºÎ
ÃÖ°íÀÇ Ç°Áú·Î ¼ö¿äÀÚ ¿©·¯ºÐ²² º¸´äÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
- À¯±â/À¯±â ±Ý¼ÓÈÇÕ¹° °í¼øµµ Á¤Á¦±â¼ú
°íÁø°ø Áõ·ù¹ý/½ÂȹýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À¯±â ¹× À¯±â±Ý¼ÓÈÇÕ¹°ÀÇ °í¼øµµÈ Á¤Á¦±â¼úÀº ALD/CVD °øÁ¤¿ë precursor¿Í OLED µîÀÇ ÀüÀÚÀç·á Á¦Á¶¿¡ ÀÖ¾î¼ Çٽɱâ¼úÀ̸ç, Á¤¹ÐÈÇÐ/ÀǾàÈÇÐ/Ã˸ÅÈÇÐ µî¿¡¼ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
- À¯±â±Ý¼Ó ÈÇÕ¹° ÇÕ¼º±â¼ú
¼öºÐ°ú »ê¼Ò¿¡ ¸Å¿ì ¹Î°¨ÇÑ À¯±â±Ý¼ÓÈÇÕ¹°ÀÇ Á¦Á¶¸¦ À§Çؼ´Â Ư¼ö ¼³°èµÈ ÇÕ¼º ¹ÝÀÀ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °ø±â¸¦ ¿Ïº®È÷ Â÷´ÜÇÏ´Â °ÍÀÌ Çٽɱâ¼úÀ̸ç, À̸¦ ÀÀ¿ëÇÏ¿© ÀÚ¿¬¹ßȼº, ±Ý¼ö¼º, Æø¹ß¼º ÈÇÕ¹°À» ¿ø·á·Î »ç¿ëÇÏ´Â ÈÇÐ Á¦Á¶°øÁ¤À̳ª °íÀ§Ç輺 ÈÇÕ¹°À» ÁÖ¹®ÀÚ »ç¾çÀ¸·Î ÇÕ¼ºÇÏ¿© °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
- ALD/CVD precursor ¼³°è±â¼ú
ALD/CVD °øÁ¤Àº ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ °íÇ°Áú ±Ý¼Ó, ¼¼¶ó¹Í ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇϱâ À§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¹æ¹ýÀ̸ç, °øÁ¤ ¹× Àåºñ¿¡ ºÎÇյǴ precursorÀÇ ¼³°è´Â °øÁ¤ÀÇ ¼ºÆи¦ Á¿ìÇÏ´Â ±â¹Ý±â¼úÀÌ´Ù. Precursor ¼³°è ±â¼ú¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ °ÍÀº ÁõÂøÇÏ°íÀÚÇÏ´Â ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ ¹Ú¸·ÀÇ ¹°¼ºÀÌ ÀûÇÕÇϵµ·Ï °øÁ¤ ¸ÞÄ«´ÏÁòÀ» ÈÇÐÀûÀ¸·Î ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇÏ¿© ½ÇÁ¦ °øÁ¤ Àåºñ¿¡¼ Àû¿ëÀÌ ¿øÈ°Çϵµ·Ï ¼³°èÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
- Á¤¹ÐÈÇÐ ºÐ¼®±â¼ú
ICP-MS¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÈÇÕ¹°ÀÇ ppt ¼öÁØÀÇ ±Ø¹Ì·® ±Ý¼Ó ºÒ¼ø¹° ºÐ¼®°ú NMR, GC, HPLC µîÀÇ À¯±â¹° ºÐ¼®, TGA/DSC ºÐ¼®Àº ALD/CVD precursor ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ¹ÝµµÃ¼¿ë ÀüÀÚÀç·áÀÇ °³¹ß¿¡ ÀÖ¾î¼ ±âº»ÀûÀÎ ºÐ¼® ±â¼ú·Î¼ ÈÇÕ¹°ÀÇ ÀÀ¿ë ¸ñÀû¿¡ ¸Â´Â ¼øµµ¿Í ¹°¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÏ´Â ¿ëµµ·Î »ç¿ëµÇ¸ç, ÀϹÝÀûÀÎ ÈÇÕ¹°À̳ª À¯¹«±â ¼ÒÀç, Ư¼ö°¡½º¿Í °°Àº ¹°ÁúÀÇ ºÐ¼®¿¡µµ ÀÀ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
- ·¹º§ÃøÁ¤±â¼ú
ÀüÀÚ»ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö ¾àÇ°·ùÀÇ ½Å·Ú¼ºÀÖ´Â ¼öÀ§Á¶ÀýÀ» À§ÇÏ¿© °³¹ßµÈ ÃÊÀ½ÆÄ ·¹º§¼¾¼ ½Ã½ºÅÛÀº 0.1% ÀÌÇÏÀÇ ½Å·Úµµ¸¦ È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °í¿Â, °í¾Ð, Áø°ø, À¯Ã¼ÀÇ À¯µ¿°ú °°Àº °¡È¤ÇÑ Á¶°Ç¿¡¼µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ È®º¸µÇ¾î ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ È®´ë Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
- ¿À¿°Á¦¾î±â¼ú
¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ÀüÀÚ »ê¾÷¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ºÎÇ° ¹× ¼ÒÀç´Â ÀÀ¿ë ¸ñÀû¿¡ µû¶ó¼ ÃÊ°íµµÈµÈ ¼øµµ¸¦ ÇÊ¿ä·ÎÇϱ⶧¹®¿¡ ÇÕ¼º ¹× °í¼øµµÈ °øÁ¤¿¡¼ ¼¼Á¤ ±â¼ú°ú ûÁ¤È ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ¸ç ´ëºÎºÐÀÇ °æ¿ì ppt ¼öÁØÀÇ ±Ý¼Ó ºÒ¼ø¹° ¹× 0.05umÀÌ»óÀÇ À̹° Á¦¾î ±â¼úÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. ¿À¿°Á¦¾î±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ»ê¾÷ ¹× ¹ÙÀÌ¿À »ê¾÷ÀÇ ±Ù°£ÀÌ µÇ´Â ±â¹Ý±â¼ú·Î ÀÀ¿ëÀÌ °¡´ÉÇϸç, °íµµÀÇ Ã»Á¤µµ°¡ ¿ä±¸µÇ´Â ºÎÇ°À̳ª ÈÇÕ¹° ¿ë±â(ij´Ï½ºÅÍ) ¹× º§ºê µîÀÇ ¿À¿°Á¦°Å¸¦ À§ÇÑ ¼¼Á¤ ¼ºñ½º°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù.